分子式：C₄F₆
分子量：162
CAS 号：685-63-2

性 状： 易燃、有毒、无色、无味的刚瓶装液化压缩气体，吸入有害，与空气混合后，浓度达到7%时，有立即点火和爆炸危险
用 途： 半导体的等离子蚀刻，良好的干蚀刻气体。含氟橡胶、合成含氟弹性体和电机能良好的树脂
贮 存： 贮存在阴凉透风处，容器维持密关。贮存在原容器中的温度不超过50℃。预防阳光直射。把稳不要与氧化剂一路混贮。远离烟火。
运 输： 依照压缩气体和液化气体有毒气体尺度运输
包 装： 10L或47L冈炜压缩包装， 或依客户要求包装